廢水防治措施
廠區(qū)排水系統(tǒng)采用清污分流、雨污分流體制。廢水包括生產(chǎn)/公輔廢水和生活污水。生產(chǎn)、公輔廢水又分為含氮廢水、綜合廢水、冷卻設(shè)備排水。含氮廢水經(jīng)廠內(nèi)處理后回用；綜合廢水(不含氮廢水、酸堿廢水、研磨廢水)經(jīng)綜合處理后與生活污水混合，一并接入?yún)^(qū)域污水處理廠處理，達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》（GB18918－2002）一級A標準及《太湖地區(qū)城鎮(zhèn)污水處理廠主要水污染物排放限值》（DB32/1072-2007）污水處理廠I類標準后，排入二干河；
廢氣防治措施
1.外延廠房
外延廠房產(chǎn)生的廢氣主要有外延爐尾氣。外延爐尾氣主要成分為氨和少量粉塵，各臺外延爐尾氣先分別經(jīng)爐內(nèi)自帶除塵過濾器過濾后再經(jīng)管道匯合后一起通入氨回收處理設(shè)備處理，處理后的廢氣經(jīng)排氣筒達標排放。烤盤過程產(chǎn)生的氯化氫和少量未反應(yīng)的氯氣，經(jīng)管道收集后送至堿液噴淋吸收塔處理，經(jīng)排氣筒達標排放。外延片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的粉塵、甲烷和未完全反應(yīng)的砷烷、磷烷先經(jīng)爐內(nèi)自帶除塵過濾器過濾粉塵，再經(jīng)管道匯合后一起通入次氯酸鈉溶液吸收處理裝置處理經(jīng)排氣筒達標排放。
2.芯片廠房
芯片廠房產(chǎn)生的廢氣主要是外延片酸洗過程產(chǎn)生的酸洗廢氣（硫酸霧）、進行SiO2鈍化、沉積時未反應(yīng)的硅烷和笑氣（氮氧化物）、ICP刻蝕時未反應(yīng)的氯氣、SiO2刻蝕產(chǎn)生的氟化物、鈍化、BOE刻蝕時產(chǎn)生的氟化氫、ITO刻蝕過程中產(chǎn)生的氯化氫都經(jīng)收集后送至堿噴淋吸收，然后通過排氣筒達標排放；光刻產(chǎn)生的非甲烷總烴，去膠、去蠟產(chǎn)生的丙酮、乙醇、異丙醇和非甲烷總烴收集后送至RTO處理裝置處理，然后通過排氣筒達標排放。
3.食堂
食堂烹飪油煙經(jīng)脫油煙機處理后通過排氣筒達標排放。
噪聲防治措施
公司生產(chǎn)設(shè)備屬于精密設(shè)備，噪聲值較低，且都位于封閉的車間內(nèi)，主要噪聲源為公輔工程的冷卻塔、空壓機、風機、水泵、氣體純化器等，源強在77～85dB(A)。為降低噪聲排放對周圍環(huán)境的影響，選用高效低噪聲的設(shè)備，高噪聲設(shè)備均布置在室內(nèi)或者不同時使用，合理布置廠區(qū)平面布局，利用隔聲、減震、吸聲、消聲、綠化等措施控制廠界噪聲。
公司每年會對廢水、廢氣、噪聲進行年度檢測，檢測結(jié)果均符合國家標準，2018年11月底委托江蘇雁藍科技有限公司對公司廢水、廢氣、噪聲進行了檢測，檢測報告編號為（2018）環(huán)檢（綜）字第（W0952-01）號，檢測數(shù)值均符合標準。
